Technologie- und Produktentwicklung

Zentrum für Mikrosystemtechnik gegründet

4. Januar 2011, 14:46 Uhr | Elke von Rekowski
Vertreter aus Forschung und Industrie werden künftig eng im Bereich Mikrosystemtechnik zusammenarbeiten. (Foto: Franz Pfluegl - Fotolia.com)

An neuen Technologien und Produkten im Bereich Mikrosystemtechnik arbeiten wollen künftig Fraunhofer-Forscher gemeinsam mit verschiedenen Unternehmen. Dazu haben die Partner jetzt das »Center für Mikrosystemintegration München« (CMM) gegründet.

Durch die Zusammenarbeit der Fraunhofer Einrichtung für Modulare Festkörper-Technologien (EMFT), Siemens AG, LFoundry GmbH, Ketek GmbH und der Süss MicroTec AG sollen die Kompetenzen gebündelt werden. Im ersten Schritt sollen gemeinsame Technologien und Produkte in den Bereichen Mikrosystem-Technologie, CMOS- bzw. fortschrittliche Silizium-Prozesse sowie vertikale Systemintegration (3D-Aufbau) entwickelt werden. Dafür bündeln die Kooperationspartner im CMM ihre Ressourcen. Einerseits werden vorhandene Reinräume und Labore der Partner gemeinsam genutzt, wobei bei Bedarf entsprechendes Equipment verlagert wird. Andererseits kann so auf redundante Räumlichkeiten bzw. Anlagen verzichtet werden. So entsteht ein gemeinsamer, sich ergänzender Technologie-, Anlagen- und Know-how-Pool mit hoch modernen leistungsfähigen und kosteneffizienten Prozess-Einrichtungen. Durch die effizientere Nutzung der Reinräume und kostspieligen Geräte bzw. Prozesse mit ihrem hohen Investitions- und Wartungsaufwand können die Entwicklungskosten reduziert werden. Damit wird die internationale Wettbewerbsfähigkeit gesichert, während andererseits das adressierte Produktspektrum erweitert werden kann.

Mikrosystemtechnik ist ein Wachstumsmarkt und einer der wesentlichen Innovationsmotoren für nahezu alle Produkt- und Wirtschaftsbereiche. Die Anwendungsgebiete reichen vom Maschinenbau, über die Automobil-, Telekommunikations-, Konsum- und Leistungselektronik bis hin zur Medizin- und chemischen Verfahrenstechnik. Neben der Entwicklung und Realisierung der eigentlichen Mikrosysteme ist deren Integration in ein Makrosystem, wie etwa ein Mobiltelefon oder Automobil, eine weitere wesentliche Aufgabe der Mikrosystemtechnik.


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