Auch die inneren Werte der dritten Surface Pro-Generation liegen auf dem Niveau ordentlicher mobiler Arbeitsrechner. Neben unterschiedlichen Ausstattungen bei RAM und Speicherplatz kann das das Surface Pro 3 erstmals mit verschiedenen Prozessoren aus Intels – inzwischen schon wieder überholter - vierter Core i-Generation bestellt werden. Das beginnt bei der kleinsten Version mit Intels Core i3 CPU und vier GByte RAM sowie 64 GByte SSD-Speicherplatz, die mit einem UVP von 799 Euro veranschlagt ist. Die mittleren Varianten kommen mit einem stärkeren Core i5, dem wahlweise vier oder acht GByte Arbeitsspeicher sowie 128 oder 256 GByte SSD-Speicher zur Seite stehen. Sie sollen im Verkauf 999 beziehungsweise 1.299 Euro kosten.
Die beiden Spitzenmodelle verfügen sogar über die geballte Rechenpower eines Core i7 mit acht GByte Arbeitsspeicher. Beim SSD-Speicher gibt es die Auswahl zwischen einer Version mit 256 und einer mit 512 GByte. Spätestens mit diesen Leistungsmerkmalen sollten tatsächlich auch anspruchsvolle Produktiv-Nutzer reibungslos arbeiten können. Entsprechend hoch sind allerdings auch die Preise angesetzt: Die kleinere Version kostet 1.549, die größte sogar 1.949 Euro.
Trotz der Leistungssteigerung reicht der Akku bei normaler Arbeitslast für bis zu neun Stunden und damit etwa zehn Prozent länger als noch beim Vorgänger. Als Betriebssystem kommt beim Surface Pro 3 selbstredend Windows 8.1 Pro zum Einsatz.